托盘机构、镀膜装置及镀膜方法

被引：0

申请号：

CN202210935343.1

申请日：

2022-08-05

公开(公告)号：

CN115369383A

公开(公告)日：

2022-11-22

发明(设计)人：

李志宁艳华王俊朝李亚文宁志升张五平李业涛唐圭唐太家梁剑铭李金萍高云峰

申请人：

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区深南大道9988号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20220805
2022-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

托盘机构、镀膜装置及镀膜方法 [P].

李志 ;

宁艳华 ;

王俊朝 ;

李亚文 ;

宁志升 ;

张五平 ;

李业涛 ;

唐圭 ;

唐太家 ;

梁剑铭 ;

李金萍 ;

高云峰 .

中国专利 :CN115369383B ,2024-02-06

[2]

镀膜托盘及镀膜装置 [P].

宋祥慧 ;

胡宇航 .

中国专利 :CN216838162U ,2022-06-28

[3]

镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法 [P].

吴婷婷 ;

冯俊敏 ;

张万财 .

中国专利 :CN113981376A ,2022-01-28

[4]

镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法 [P].

吴婷婷 ;

冯俊敏 ;

张万财 .

中国专利 :CN113981376B ,2024-11-15

[5]

镀膜治具、镀膜装置及镀膜方法 [P].

张续朋 ;

刘宏亮 ;

杨彦伟 .

中国专利 :CN112593200A ,2021-04-02

[6]

镀膜托盘及镀膜系统 [P].

郭爱云 ;

汪友林 ;

王君 .

中国专利 :CN208844188U ,2019-05-10

[7]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

张智能 ;

余安华 ;

陈明华 .

中国专利 :CN1459517A ,2003-12-03

[8]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

刘亮 ;

杨彦伟 ;

邹颜 .

中国专利 :CN112779522A ,2021-05-11

[9]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102373444A ,2012-03-14

[10]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

杨肸曦 .

中国专利 :CN111041443A ,2020-04-21

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