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托盘机构、镀膜装置及镀膜方法
被引：0
申请号：
CN202210935343.1
申请日：
2022-08-05
公开(公告)号：
CN115369383A
公开(公告)日：
2022-11-22
发明(设计)人：
李志
宁艳华
王俊朝
李亚文
宁志升
张五平
李业涛
唐圭
唐太家
梁剑铭
李金萍
高云峰
申请人：
申请人地址：
518057 广东省深圳市南山区深南大道9988号
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
C23C1650
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20220805 |
| 2022-11-22 | 公开 | 公开 |