磁控溅射镀膜方法、镀膜产品及镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411910654.8

申请日：

2024-12-23

公开(公告)号：

CN119663209A

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

李翔白展逢袁红霞姚俊

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54 H01J37/34 C23C14/08

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

石惠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20241223
2025-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜室及镀膜装置 [P].

余荣沾 ;

王忠雨 ;

蔡东锋 ;

陈卫中 ;

张欣 ;

王克宁 .

中国专利 :CN209456557U ,2019-10-01

[2]

磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

钟真武 ;

于伟华 ;

郄丽曼 .

中国专利 :CN103498128B ,2014-01-08

[3]

磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

李龙哲 ;

周征华 ;

夏伟 ;

张亚芹 ;

朱小凤 ;

李花 .

中国专利 :CN113913768A ,2022-01-11

[4]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王培红 ;

李晨光 ;

胡国栋 .

中国专利 :CN111893445A ,2020-11-06

[5]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[6]

磁控溅射镀膜中的镀膜监控方法、装置及系统 [P].

代树祥 .

中国专利 :CN117127162B ,2024-02-09

[7]

磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线 [P].

陈道逵 ;

汪振南 ;

杨永雷 .

中国专利 :CN209798089U ,2019-12-17

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

唐莲 ;

杨恒 ;

孙桂红 ;

祝海生 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN112342516A ,2021-02-09

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

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