磁控溅射镀膜设备及镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111250744.5

申请日：

2021-10-26

公开(公告)号：

CN113913768A

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

李龙哲周征华夏伟张亚芹朱小凤李花

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区朱泾镇大茫6011号-135室

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450 C23C1456

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251

代理人：

林晓青

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20211026
2022-01-11	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[2]

一种磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

张绍璞 ;

范刚 ;

黄兴盛 ;

胡征宇 .

中国专利 :CN109898062A ,2019-06-18

[3]

磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

钟真武 ;

于伟华 ;

郄丽曼 .

中国专利 :CN103498128B ,2014-01-08

[4]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王健文 ;

李学欧 ;

蔡东锋 ;

梁凯基 ;

李劲川 .

中国专利 :CN201437550U ,2010-04-14

[5]

复合阴极、磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

李立升 .

中国专利 :CN114540779B ,2022-05-27

[6]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

[7]

磁控溅射设备及镀膜方法 [P].

陆飞 ;

于海超 ;

王艾琳 .

中国专利 :CN121023449A ,2025-11-28

[8]

一种磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 [P].

张绍璞 ;

范刚 ;

黄兴盛 ;

胡征宇 .

中国专利 :CN109881170A ,2019-06-14

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

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