磁控溅射镀膜装置及镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310155077.1

申请日：

2013-04-29

公开(公告)号：

CN103498128B

公开(公告)日：

2014-01-08

发明(设计)人：

钟真武于伟华郄丽曼

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济开发区协鑫大道66号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	授权	授权
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609521526 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2013101550771 申请日:20130429
2014-01-08	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

李龙哲 ;

周征华 ;

夏伟 ;

张亚芹 ;

朱小凤 ;

李花 .

中国专利 :CN113913768A ,2022-01-11

[2]

磁控溅射镀膜方法、镀膜产品及镀膜装置 [P].

李翔 ;

白展逢 ;

袁红霞 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119663209A ,2025-03-21

[3]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

[4]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[5]

一种中空磁控溅射阴极、磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

黄晓旭 ;

张伟刚 ;

曹端文 .

中国专利 :CN119121163B ,2025-02-25

[6]

磁控溅射镀膜室及镀膜装置 [P].

余荣沾 ;

王忠雨 ;

蔡东锋 ;

陈卫中 ;

张欣 ;

王克宁 .

中国专利 :CN209456557U ,2019-10-01

[7]

一种中空磁控溅射阴极、磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

黄晓旭 ;

张伟刚 ;

曹端文 .

中国专利 :CN119121163A ,2024-12-13

[8]

磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线 [P].

陈道逵 ;

汪振南 ;

杨永雷 .

中国专利 :CN209798089U ,2019-12-17

[9]

一种磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

黄晓旭 ;

曹端文 ;

张伟刚 .

中国专利 :CN119082689A ,2024-12-06

[10]

磁控溅射镀膜方法及装置 [P].

张远华 ;

林俊延 ;

罗云 .

中国专利 :CN119685777A ,2025-03-25

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