磁控溅射镀膜方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411897764.5

申请日：

2024-12-19

公开(公告)号：

CN119685777A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

张远华林俊延罗云

申请人：

富联裕展科技（深圳）有限公司

申请人地址：

518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街道福城大三社区富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

周志伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

引用

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共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜装置及镀膜方法 [P].

钟真武 ;

于伟华 ;

郄丽曼 .

中国专利 :CN103498128B ,2014-01-08

[2]

磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线 [P].

陈道逵 ;

汪振南 ;

杨永雷 .

中国专利 :CN209798089U ,2019-12-17

[3]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[4]

磁控溅射镀膜方法、镀膜产品及镀膜装置 [P].

李翔 ;

白展逢 ;

袁红霞 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119663209A ,2025-03-21

[5]

磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

李龙哲 ;

周征华 ;

夏伟 ;

张亚芹 ;

朱小凤 ;

李花 .

中国专利 :CN113913768A ,2022-01-11

[6]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

[7]

磁控溅射镀膜室及镀膜装置 [P].

余荣沾 ;

王忠雨 ;

蔡东锋 ;

陈卫中 ;

张欣 ;

王克宁 .

中国专利 :CN209456557U ,2019-10-01

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20241219
2025-03-25	公开	公开