一种用于基板干燥的流体供给装置和基板干燥设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920930588.9

申请日：

2019-06-19

公开(公告)号：

CN210325704U

公开(公告)日：

2020-04-14

发明(设计)人：

李长坤赵德文路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

F26B2114

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

向森

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于基板干燥的流体供给装置和基板干燥设备 [P].

李长坤 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN110429046A ,2019-11-08

[2]

一种用于基板干燥的流体供给装置和基板干燥设备 [P].

李长坤 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN110429046B ,2024-12-27

[3]

基板干燥设备 [P].

陈国辉 .

中国专利 :CN113175790B ,2021-07-27

[4]

基板干燥设备 [P].

陈国辉 .

中国专利 :CN113175791A ,2021-07-27

[5]

批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置 [P].

黄立佐 ;

林秀雯 ;

张修凯 .

中国专利 :CN209371673U ,2019-09-10

[6]

一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备 [P].

张博 ;

张为强 ;

王嘉琪 ;

李婷 ;

尹影 .

中国专利 :CN117747499A ,2024-03-22

[7]

一种立式的基板干燥设备 [P].

陈剑群 .

中国专利 :CN208238447U ,2018-12-14

[8]

基板热干燥设备 [P].

马海买提 .

中国专利 :CN107388785A ,2017-11-24

[9]

批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置 [P].

黄立佐 ;

林秀雯 ;

张修凯 .

中国专利 :CN111457692B ,2020-07-28

[10]

基板支撑件和真空干燥设备 [P].

余忠兴 ;

吴斌 ;

孟祥明 ;

李坤 ;

李曼飞 .

中国专利 :CN205428881U ,2016-08-03

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