批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920091948.0

申请日：

2019-01-18

公开(公告)号：

CN209371673U

公开(公告)日：

2019-09-10

发明(设计)人：

黄立佐林秀雯张修凯

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市香山区中华路六段89号

IPC主分类号：

F26B908

IPC分类号：

F26B2100 F26B2518

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F26B 9/08 申请日:20190118 授权公告日:20190910 终止日期:20220118
2019-09-10	授权	授权

共 50 条

[1]

批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置 [P].

黄立佐 ;

林秀雯 ;

张修凯 .

中国专利 :CN111457692B ,2020-07-28

[2]

基板干燥设备 [P].

陈国辉 .

中国专利 :CN113175790B ,2021-07-27

[3]

基板干燥设备 [P].

陈国辉 .

中国专利 :CN113175791A ,2021-07-27

[4]

基板热干燥设备 [P].

马海买提 .

中国专利 :CN107388785A ,2017-11-24

[5]

一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备 [P].

张博 ;

张为强 ;

王嘉琪 ;

李婷 ;

尹影 .

中国专利 :CN117747499A ,2024-03-22

[6]

一种用于基板干燥的流体供给装置和基板干燥设备 [P].

李长坤 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN210325704U ,2020-04-14

[7]

干燥设备及基板处理设备 [P].

崔海圆 ;

李在晟 ;

赵弘灿 .

韩国专利 :CN117711971A ,2024-03-15

[8]

真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备 [P].

江兵 .

中国专利 :CN114771111B ,2024-03-22

[9]

真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备 [P].

江兵 .

中国专利 :CN114771111A ,2022-07-22

[10]

基板支撑件和真空干燥设备 [P].

余忠兴 ;

吴斌 ;

孟祥明 ;

李坤 ;

李曼飞 .

中国专利 :CN205428881U ,2016-08-03

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