学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

基板检查装置

被引：0
申请号：
CN202180024725.2
申请日：
2021-03-25
公开(公告)号：
CN115335712A
公开(公告)日：
2022-11-11
发明(设计)人：
松川俊英 伊砂隆志
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市右京区西京极堤外町10番地
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
H05K300
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
贺财俊;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-11 公开 公开
共 50 条
[1]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
笹岑敬一郎 ;
斋藤智一 ;
土田宪吾 .
中国专利 :CN107192913A ,2017-09-22
[2]
基板检查装置以及基板检查方法 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09
[3]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
戒田理夫 .
中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11
[4]
基板检查方法及基板检查装置 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20
[5]
基板检查装置和基板检查方法 [P]. 
山下宗宽 .
中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04
[6]
基板检查装置和基板检查方法 [P]. 
角田晴美 .
中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10
[7]
基板检查方法和基板检查装置 [P]. 
久野和哉 ;
清富晶子 .
中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31
[8]
基板检查装置及基板检查方法 [P]. 
中村昭彦 ;
铃木芳邦 .
中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09
[9]
基板检查方法和基板检查装置 [P]. 
久野和哉 ;
清富晶子 .
日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28
[10]
基板检查装置和基板检查方法 [P]. 
山下宗宽 ;
辻英明 .
中国专利 :CN102879646B ,2013-01-16
12345