晶片采样检测系统及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910194784.5

申请日：

2009-08-28

公开(公告)号：

CN102004104A

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

康盛黄臣赵庆国

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01N2184

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101072508608 IPC(主分类):G01N 21/84 专利申请号:2009101947845 申请日:20090828
2014-10-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101705921448 IPC(主分类):G01N 21/84 专利申请号:2009101947845 申请公布日:20110406
2011-04-06	公开	公开
2012-12-12	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121109 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101483561146 IPC(主分类):G01N 21/84 专利申请号:2009101947845

共 50 条

[1]

晶片检测系统和晶片检测方法 [P].

徐义 .

中国专利 :CN108878307B ,2018-11-23

[2]

单晶片检测方法、单晶片组件及其检测系统 [P].

李敬洲 ;

林俊煌 .

中国专利 :CN1724988A ,2006-01-25

[3]

晶片检测系统、反应腔室及晶片检测方法 [P].

何丽 ;

吴军 .

中国专利 :CN104916560B ,2015-09-16

[4]

检测系统及其检测方法 [P].

尤宗睦 ;

谢家华 ;

吕景豫 ;

黄顺治 .

中国专利 :CN103902638B ,2014-07-02

[5]

晶片检测系统及方法 [P].

刘大威 .

中国专利 :CN101013138A ,2007-08-08

[6]

视觉检测装置及其检测方法、检测系统及其检测方法 [P].

李武书 ;

邱桂加 .

中国专利 :CN119816726A ,2025-04-11

[7]

检测设备及其检测方法、检测系统 [P].

戴宜捷 .

中国专利 :CN119104268A ,2024-12-10

[8]

一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法 [P].

商家强 .

中国专利 :CN110752168B ,2020-02-04

[9]

影像感测晶片污点检测系统及其检测方法 [P].

彭磊 ;

王江平 .

中国专利 :CN101329281A ,2008-12-24

[10]

性能检测系统及其检测方法 [P].

张雨蒙 ;

张江鹏 ;

李明 ;

王思 ;

邓林明 ;

刘辉 .

中国专利 :CN111245527B ,2020-06-05

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