晶片检测系统、反应腔室及晶片检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410088774.4

申请日：

2014-03-11

公开(公告)号：

CN104916560B

公开(公告)日：

2015-09-16

发明(设计)人：

何丽吴军

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101629185788 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2014100887744 申请日:20140311
2018-05-25	授权	授权
2017-10-10	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760366061 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2014100887744 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-09-16	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片检测系统和晶片检测方法 [P].

徐义 .

中国专利 :CN108878307B ,2018-11-23

[2]

晶片检测设备和晶片检测方法 [P].

周崇斌 .

中国专利 :CN112309881A ,2021-02-02

[3]

晶片检测设备和晶片检测方法 [P].

周崇斌 .

中国专利 :CN112309881B ,2024-09-03

[4]

晶片缺陷的检测方法及系统 [P].

王洲男 ;

龙吟 ;

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

郭明升 .

中国专利 :CN102412168B ,2012-04-11

[5]

一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法 [P].

商家强 .

中国专利 :CN110752168B ,2020-02-04

[6]

晶片检测系统及方法 [P].

刘大威 .

中国专利 :CN101013138A ,2007-08-08

[7]

单晶片检测方法、单晶片组件及其检测系统 [P].

李敬洲 ;

林俊煌 .

中国专利 :CN1724988A ,2006-01-25

[8]

晶片检测方法及设备 [P].

韩盼盼 .

中国专利 :CN104752253A ,2015-07-01

[9]

晶片采样检测系统及其检测方法 [P].

康盛 ;

黄臣 ;

赵庆国 .

中国专利 :CN102004104A ,2011-04-06

[10]

晶片分片装置及晶片检测方法 [P].

石刚 ;

胡飞 ;

张军 ;

姜超 ;

陈国炜 .

中国专利 :CN117038548B ,2024-02-13

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