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一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910906361.5
申请日：
2019-09-24
公开(公告)号：
CN110752168B
公开(公告)日：
2020-02-04
发明(设计)人：
商家强
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319
代理人：
莎日娜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-16 | 授权 | 授权 |
| 2020-02-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190924 |
| 2020-02-04 | 公开 | 公开 |