硅片鼓泡清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920049115.4

申请日：

2009-10-14

公开(公告)号：

CN201529636U

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

苏世杰

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101636278686 IPC(主分类):B08B 3/10 专利号:ZL2009200491154 申请日:20091014 授权公告日:20100721 终止日期:20141014
2010-07-21	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片鼓泡清洗装置 [P].

王帅 ;

李立宏 ;

段盟盟 ;

朱玲 .

中国专利 :CN203281546U ,2013-11-13

[2]

硅片清洗鼓泡装置 [P].

赵学亮 ;

李顺军 ;

薛俊明 ;

高建军 ;

张庆宝 .

中国专利 :CN205881929U ,2017-01-11

[3]

一种抛光硅片鼓泡清洗装置 [P].

郭光灿 ;

范强 ;

代兴伟 ;

王卫华 .

中国专利 :CN210847349U ,2020-06-26

[4]

一种硅片鼓泡清洗装置 [P].

甘大元 ;

唐珊珊 ;

刘坤 ;

张鹏飞 ;

张健 .

中国专利 :CN108346600A ,2018-07-31

[5]

硅片清洗装置 [P].

陈玉 ;

陈龙 .

中国专利 :CN209266366U ,2019-08-16

[6]

红枣水浴鼓泡清洗灭泡装置 [P].

孟凡武 ;

付鹏飞 ;

闫喜红 ;

成霖 ;

李耀霞 .

中国专利 :CN206390232U ,2017-08-11

[7]

LCD表面清洗鼓泡装置 [P].

成小定 ;

闫文忠 .

中国专利 :CN203565411U ,2014-04-30

[8]

一种旋转滚筒鼓泡清洗装置 [P].

马昀锋 ;

刘刚 ;

韩金豆 ;

郑璐 ;

何银凤 ;

郭民 ;

王金宝 .

中国专利 :CN212760046U ,2021-03-23

[9]

硅片清洗装置 [P].

曹士妥 ;

霍志强 .

中国专利 :CN204107915U ,2015-01-21

[10]

一种鼓泡清洗槽 [P].

文海波 ;

程润心 ;

杨佐东 ;

陈仕超 .

中国专利 :CN217512420U ,2022-09-30

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