一种硅片鼓泡清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810082611.3

申请日：

2018-01-29

公开(公告)号：

CN108346600A

公开(公告)日：

2018-07-31

发明(设计)人：

甘大元唐珊珊刘坤张鹏飞张健

申请人：

申请人地址：

257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北西康路以西

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

济南舜源专利事务所有限公司 37205

代理人：

苗峻

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20180731
2018-07-31	公开	公开
2018-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180129

共 50 条

[1]

硅片清洗鼓泡装置 [P].

赵学亮 ;

李顺军 ;

薛俊明 ;

高建军 ;

张庆宝 .

中国专利 :CN205881929U ,2017-01-11

[2]

硅片鼓泡清洗装置 [P].

王帅 ;

李立宏 ;

段盟盟 ;

朱玲 .

中国专利 :CN203281546U ,2013-11-13

[3]

硅片鼓泡清洗装置 [P].

苏世杰 .

中国专利 :CN201529636U ,2010-07-21

[4]

一种抛光硅片鼓泡清洗装置 [P].

郭光灿 ;

范强 ;

代兴伟 ;

王卫华 .

中国专利 :CN210847349U ,2020-06-26

[5]

多功能硅片鼓泡清洗水槽 [P].

索思卓 ;

库黎明 ;

边永智 ;

闫志瑞 .

中国专利 :CN201711310U ,2011-01-19

[6]

一种食品加工用鼓泡清洗装置 [P].

张宏 .

中国专利 :CN223222071U ,2025-08-15

[7]

一种抛光后清洗用鼓泡装置 [P].

闫都伦 ;

王旻杰 ;

旷玉林 ;

王克斌 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN203972429U ,2014-12-03

[8]

一种鼓泡清洗装置 [P].

洪昀 ;

于永峰 ;

许明现 ;

蔡涔 .

中国专利 :CN221734243U ,2024-09-20

[9]

一种鼓泡清洗装置 [P].

林世文 ;

赵红 ;

刘胜强 ;

赵永刚 ;

廖相恩 ;

林育生 .

中国专利 :CN217857642U ,2022-11-22

[10]

一种鼓泡清洗装置 [P].

郑正足 ;

段新红 ;

谢立亮 .

中国专利 :CN203943047U ,2014-11-19

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