一种抛光硅片鼓泡清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920963720.6

申请日：

2019-06-25

公开(公告)号：

CN210847349U

公开(公告)日：

2020-06-26

发明(设计)人：

郭光灿范强代兴伟王卫华

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B310 B08B1300

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

李真真

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 3/02 变更事项:专利权人变更前:麦斯克电子材料有限公司变更后:麦斯克电子材料股份有限公司变更事项:地址变更前:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号变更后:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
2020-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片鼓泡清洗装置 [P].

王帅 ;

李立宏 ;

段盟盟 ;

朱玲 .

中国专利 :CN203281546U ,2013-11-13

[2]

硅片鼓泡清洗装置 [P].

苏世杰 .

中国专利 :CN201529636U ,2010-07-21

[3]

硅片清洗鼓泡装置 [P].

赵学亮 ;

李顺军 ;

薛俊明 ;

高建军 ;

张庆宝 .

中国专利 :CN205881929U ,2017-01-11

[4]

一种硅片鼓泡清洗装置 [P].

甘大元 ;

唐珊珊 ;

刘坤 ;

张鹏飞 ;

张健 .

中国专利 :CN108346600A ,2018-07-31

[5]

一种抛光后清洗用鼓泡装置 [P].

闫都伦 ;

王旻杰 ;

旷玉林 ;

王克斌 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN203972429U ,2014-12-03

[6]

一种鼓泡清洗装置 [P].

洪昀 ;

于永峰 ;

许明现 ;

蔡涔 .

中国专利 :CN221734243U ,2024-09-20

[7]

一种鼓泡清洗装置 [P].

林世文 ;

赵红 ;

刘胜强 ;

赵永刚 ;

廖相恩 ;

林育生 .

中国专利 :CN217857642U ,2022-11-22

[8]

一种鼓泡清洗装置 [P].

郑正足 ;

段新红 ;

谢立亮 .

中国专利 :CN203943047U ,2014-11-19

[9]

一种鼓泡清洗装置 [P].

邵启武 .

中国专利 :CN222931430U ,2025-06-03

[10]

一种鼓泡清洗装置 [P].

范从国 ;

秦旺洋 ;

黄兵 .

中国专利 :CN210876529U ,2020-06-30

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