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基板传送装置及系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620630145.4
申请日：
2016-06-23
公开(公告)号：
CN205739586U
公开(公告)日：
2016-11-30
发明(设计)人：
程志浩
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
IPC主分类号：
B65H522
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
唐清凯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-11-30 | 授权 | 授权 |