基板传送系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220149555.9

申请日：

2012-04-11

公开(公告)号：

CN202513194U

公开(公告)日：

2012-10-31

发明(设计)人：

李一成李冠龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区居里路1号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21677 C23C1654

代理机构：

上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239

代理人：

孟建勇

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663122383 IPC(主分类):H01L 31/18 专利号:ZL2012201495559 申请日:20120411 授权公告日:20121031 终止日期:20150411
2012-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

基板传送系统 [P].

李一成 ;

李冠龙 .

中国专利 :CN202594391U ,2012-12-12

[2]

真空同步传送系统 [P].

杨明生 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

余超平 ;

王曼媛 ;

王勇 .

中国专利 :CN201506633U ,2010-06-16

[3]

用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统 [P].

胡伟 ;

周继伟 ;

李伟 ;

柯昌灯 .

中国专利 :CN209872224U ,2019-12-31

[4]

基板传送装置及基板传送系统 [P].

开田准一 .

中国专利 :CN113195170A ,2021-07-30

[5]

基板传送系统 [P].

崔汉铉 ;

金教承 ;

卢光硕 ;

徐正欢 ;

麴今镐 .

中国专利 :CN105984700A ,2016-10-05

[6]

基板传送系统 [P].

蔡景洙 ;

宋炫昊 .

中国专利 :CN100374911C ,2004-07-21

[7]

基板传送系统及方法 [P].

郑威昌 ;

廖启宏 .

中国专利 :CN109693908A ,2019-04-30

[8]

基板传送系统 [P].

吴凡 ;

王洪亚 .

中国专利 :CN108423433A ,2018-08-21

[9]

基板传送系统 [P].

吴世德 .

韩国专利 :CN118263169A ,2024-06-28

[10]

基板传送装置及系统 [P].

程志浩 .

中国专利 :CN205739586U ,2016-11-30

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