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基板传送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211705218.8
申请日：
2022-12-28
公开(公告)号：
CN118263169A
公开(公告)日：
2024-06-28
发明(设计)人：
吴世德
申请人：
吴世德
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
姜虎;陈英俊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-28 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20221228 |