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一种电弧离子源及电弧离子源镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910075119.8
申请日：
2019-01-25
公开(公告)号：
CN109680250B
公开(公告)日：
2019-04-26
发明(设计)人：
蔺增
乔宏
王光文
李汪星
申请人：
申请人地址：
271000 山东省泰安市高新区配天门大街1608号
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
代理机构：
济南圣达知识产权代理有限公司 37221
代理人：
李琳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20190125 |
| 2019-04-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-07 | 授权 | 授权 |