一种智能电弧离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710605424.4

申请日：

2017-07-24

公开(公告)号：

CN107385397B

公开(公告)日：

2017-11-24

发明(设计)人：

蔺增乔宏王书豪辛玉富

申请人：

申请人地址：

110819 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

代理机构：

沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234

代理人：

张志伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	公开	公开
2019-07-05	授权	授权
2019-06-28	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 合同备案号:2019210000018 让与人:东北大学受让人:沈阳威利德真空技术有限公司发明名称:一种智能电弧离子源申请日:20170724 申请公布日:20171124 许可种类:普通许可备案日期:20190605
2017-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20170724

共 50 条

[1]

一种电弧离子源及电弧离子源镀膜方法 [P].

蔺增 ;

乔宏 ;

王光文 ;

李汪星 .

中国专利 :CN109680250B ,2019-04-26

[2]

一种离子源 [P].

汪晨韬 ;

李良宇 ;

朱伟平 .

中国专利 :CN118280811A ,2024-07-02

[3]

胡琅 ;

胡强 ;

徐平 ;

冯杰 ;

侯立涛 ;

方威 ;

尤晶 .

中国专利 :CN111161987A ,2020-05-15

[4]

离子源水冷结构及离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN213936110U ,2021-08-10

[5]

一种微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

唐兵 ;

马瑞刚 ;

马鹰俊 ;

陈立华 ;

黄青华 .

中国专利 :CN103426706A ,2013-12-04

[6]

微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

李立强 ;

马鹰俊 ;

姜冲 ;

唐兵 ;

马瑞刚 .

中国专利 :CN100580858C ,2007-04-11

[7]

一种离子源及质谱仪 [P].

赵学良 ;

邢春玉 ;

刘俊慧 .

中国专利 :CN118471785A ,2024-08-09

[8]

一种阳极层离子源 [P].

吴忠振 ;

余浩洋 ;

崔岁寒 ;

刘亮亮 ;

吴忠灿 .

中国专利 :CN110846624B ,2020-02-28

[9]

电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源 [P].

熊剑辉 .

中国专利 :CN201495278U ,2010-06-02

[10]

一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板 [P].

林鸳 ;

羊彦 ;

欧阳小安 ;

周琛 ;

郑伟 ;

王建龙 ;

熊祖超 ;

石文旭 .

中国专利 :CN223255386U ,2025-08-22

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