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用于测量物体的表面形貌的方法和系统
被引:0
申请号
:
CN202180034863.9
申请日
:
2021-05-12
公开(公告)号
:
CN115698626A
公开(公告)日
:
2023-02-03
发明(设计)人
:
丹尼尔·布布利兹
皮特·韦斯特法尔
申请人
:
申请人地址
:
德国上科亨
IPC主分类号
:
G01B9021
IPC分类号
:
G01B1124
代理机构
:
北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493
代理人
:
崔永华
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-02-03
公开
公开
共 50 条
[1]
用于测量物体的表面形貌的方法和装置
[P].
Z·佐贝尼卡
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
Z·佐贝尼卡
;
J·A·登博艾尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
J·A·登博艾尔
;
P·F·W·J·邓达斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
P·F·W·J·邓达斯
;
M·波平丘克
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·波平丘克
;
V·特罗格里奇
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
V·特罗格里奇
.
:CN120604173A
,2025-09-05
[2]
用于光学测量表面形貌的装置和方法
[P].
优素福·阿缇亚
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
阿莱恩技术有限公司
阿莱恩技术有限公司
优素福·阿缇亚
;
塔勒·维科尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
阿莱恩技术有限公司
阿莱恩技术有限公司
塔勒·维科尔
.
美国专利
:CN111467062B
,2024-12-06
[3]
用于光学测量表面形貌的装置和方法
[P].
优素福·阿缇亚
论文数:
0
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0
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0
优素福·阿缇亚
;
塔勒·维科尔
论文数:
0
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0
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0
塔勒·维科尔
.
中国专利
:CN111467062A
,2020-07-31
[4]
用于光学测量表面形貌的装置和方法
[P].
优素福·阿缇亚
论文数:
0
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0
优素福·阿缇亚
;
塔勒·维科尔
论文数:
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0
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0
塔勒·维科尔
.
中国专利
:CN106794052B
,2017-05-31
[5]
用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法
[P].
L.奥姆洛尔
论文数:
0
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0
L.奥姆洛尔
;
C.格拉泽纳普
论文数:
0
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0
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0
C.格拉泽纳普
.
中国专利
:CN109416245B
,2019-03-01
[6]
用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法
[P].
L.奥姆洛尔
论文数:
0
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0
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0
L.奥姆洛尔
;
C.格拉泽纳普
论文数:
0
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0
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0
C.格拉泽纳普
.
中国专利
:CN111595269B
,2020-08-28
[7]
测量物体的方法和系统
[P].
史蒂文·R·海亚希
论文数:
0
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0
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0
史蒂文·R·海亚希
;
李忠国
论文数:
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李忠国
;
凯文·G·哈丁
论文数:
0
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0
凯文·G·哈丁
;
郑建明
论文数:
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0
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郑建明
;
霍华德·P·韦弗
论文数:
0
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霍华德·P·韦弗
;
杜晓明
论文数:
0
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0
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杜晓明
;
陈田
论文数:
0
引用数:
0
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0
陈田
.
中国专利
:CN101611291A
,2009-12-23
[8]
用于测量物体的光学特性的方法和系统
[P].
瓦格纳·塔瓦雷斯·布欧诺
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
瓦格纳·塔瓦雷斯·布欧诺
;
凯尚·辛格
论文数:
0
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机构:
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
凯尚·辛格
;
安德鲁·福布斯
论文数:
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机构:
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
安德鲁·福布斯
;
安吉拉·达德利
论文数:
0
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机构:
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学
安吉拉·达德利
.
:CN118215834A
,2024-06-18
[9]
用于测量物体的高度轮廓的装置和方法
[P].
贝恩德·斯罗卡
论文数:
0
引用数:
0
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0
贝恩德·斯罗卡
.
中国专利
:CN114144635A
,2022-03-04
[10]
用于测量物体的高度轮廓的装置和方法
[P].
贝恩德·斯罗卡
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
森特电子计量有限公司
森特电子计量有限公司
贝恩德·斯罗卡
.
德国专利
:CN114144635B
,2025-04-25
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