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一种半导体设备MetalM装置Lowliner部件打磨治具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020850306.7
申请日：
2020-05-20
公开(公告)号：
CN212287235U
公开(公告)日：
2021-01-05
发明(设计)人：
周毅
张正伟
申请人：
申请人地址：
244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区
IPC主分类号：
B24B4106
IPC分类号：
代理机构：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105
代理人：
李坤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-05 | 授权 | 授权 |