双波长激光退火装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420748569.1

申请日：

2014-12-03

公开(公告)号：

CN204189772U

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

赵裕兴韩伟

申请人：

申请人地址：

215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

B23K26067

代理机构：

江苏圣典律师事务所 32237

代理人：

王玉国

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

双波长激光退火装置及其方法 [P].

赵裕兴 ;

韩伟 .

中国专利 :CN104392914B ,2015-03-04

[2]

双波长热流激光退火 [P].

迪安·詹宁斯 ;

海凡·朗 ;

马克·亚姆 ;

维杰·帕里哈尔 ;

阿比拉什·玛雨尔 ;

亚伦·亨特 ;

布鲁斯·亚当斯 ;

约瑟夫·迈克尔·拉尼什 .

中国专利 :CN102157375B ,2011-08-17

[3]

双波长热流激光退火 [P].

迪安·詹宁斯 ;

海凡·朗 ;

马克·亚姆 ;

维杰·帕里哈尔 ;

阿比拉什·玛雨尔 ;

亚伦·亨特 ;

布鲁斯·亚当斯 ;

约瑟夫·迈克尔·拉尼什 .

中国专利 :CN101160646A ,2008-04-09

[4]

一种双波长激光退火装置及方法 [P].

吴尚 ;

张翔 ;

熊宝星 ;

袁孝 .

中国专利 :CN113637823B ,2021-11-12

[5]

激光退火装置和激光退火方法 [P].

姚江波 .

中国专利 :CN104979247B ,2015-10-14

[6]

激光退火装置 [P].

赵裕兴 ;

韩伟 ;

汪昊 ;

徐海滨 .

中国专利 :CN203607373U ,2014-05-21

[7]

激光退火装置 [P].

赵裕兴 ;

韩伟 ;

汪昊 ;

徐海滨 .

中国专利 :CN103824762A ,2014-05-28

[8]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN104272434B ,2015-01-07

[9]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

西田健一郎 ;

川上隆介 ;

河口纪仁 ;

正木深雪 .

中国专利 :CN101356624B ,2009-01-28

[10]

激光退火装置 [P].

若林直木 ;

万雅史 ;

冈田康弘 ;

铃木刚臣 ;

木村定彦 ;

坂本正树 .

中国专利 :CN108022853A ,2018-05-11

← 1 2 3 4 5 →