双波长热流激光退火

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680012575.9

申请日：

2006-03-30

公开(公告)号：

CN101160646A

公开(公告)日：

2008-04-09

发明(设计)人：

迪安·詹宁斯海凡·朗马克·亚姆维杰·帕里哈尔阿比拉什·玛雨尔亚伦·亨特布鲁斯·亚当斯约瑟夫·迈克尔·拉尼什

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21428

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-09	公开	公开
2011-05-18	授权	授权
2020-03-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/428 申请日:20060330 授权公告日:20110518 终止日期:20190330
2008-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

双波长热流激光退火 [P].

迪安·詹宁斯 ;

海凡·朗 ;

马克·亚姆 ;

维杰·帕里哈尔 ;

阿比拉什·玛雨尔 ;

亚伦·亨特 ;

布鲁斯·亚当斯 ;

约瑟夫·迈克尔·拉尼什 .

中国专利 :CN102157375B ,2011-08-17

[2]

双波长激光退火装置 [P].

赵裕兴 ;

韩伟 .

中国专利 :CN204189772U ,2015-03-04

[3]

双波长激光退火装置及其方法 [P].

赵裕兴 ;

韩伟 .

中国专利 :CN104392914B ,2015-03-04

[4]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

工藤　利雄 ;

小林　直之 ;

佐野　一也 ;

清野　俊明 ;

丰田　充启 .

中国专利 :CN102668039A ,2012-09-12

[5]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN104272434B ,2015-01-07

[6]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

城户淳二 .

中国专利 :CN106663611A ,2017-05-10

[7]

激光退火设备和激光退火方法 [P].

吕祖彬 ;

张宇 ;

谢璞 ;

谢银 .

中国专利 :CN107492515A ,2017-12-19

[8]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

若林直木 .

中国专利 :CN109075042A ,2018-12-21

[9]

激光退火装置和激光退火方法 [P].

姚江波 .

中国专利 :CN104979247B ,2015-10-14

[10]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

郭善仁 ;

沈佩谊 ;

陈士元 ;

吴焕照 .

中国专利 :CN101034665A ,2007-09-12

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