栅极的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810207704.4

申请日：

2018-03-14

公开(公告)号：

CN108470681B

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

李镇全何德彦

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21033 H01L21311

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭四华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-12	授权	授权
2018-08-31	公开	公开
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20180314

共 50 条

[1]

栅极的制造方法 [P].

李镇全 .

中国专利 :CN109037053B ,2018-12-18

[2]

栅极侧墙的制造方法 [P].

庄望超 ;

李镇全 .

中国专利 :CN109037054A ,2018-12-18

[3]

栅极的制造方法 [P].

顾海芳 ;

张志诚 ;

林宗谟 ;

陈明志 .

中国专利 :CN109637979B ,2019-04-16

[4]

栅极的制造方法 [P].

吴永权 ;

钱凯 ;

陆连 .

中国专利 :CN109065446B ,2018-12-21

[5]

CMOS器件的栅极结构及其制造方法 [P].

陈瑜 ;

罗啸 ;

袁苑 .

中国专利 :CN104779273A ,2015-07-15

[6]

栅极的制造方法 [P].

李镇全 .

中国专利 :CN108520865A ,2018-09-11

[7]

栅极的制造方法 [P].

李昱廷 ;

却玉蓉 ;

刘怡良 ;

龚昌鸿 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN108493159A ,2018-09-04

[8]

栅极的制造方法 [P].

付嵛 .

中国专利 :CN112701034B ,2024-04-26

[9]

栅极的制造方法 [P].

付嵛 .

中国专利 :CN112701034A ,2021-04-23

[10]

栅极的制造方法 [P].

陈小强 ;

李镇全 .

中国专利 :CN109950207A ,2019-06-28

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