一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110445987.8

申请日：

2021-04-25

公开(公告)号：

CN113130357A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

姬丹丹

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845

代理人：

李芳芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210425
2021-07-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法 [P].

姬丹丹 .

中国专利 :CN113130357B ,2024-04-12

[2]

晶圆干燥方法及晶圆干燥装置 [P].

何家鑫 ;

罗付 ;

何艳红 ;

刘欢 .

中国专利 :CN118856836A ,2024-10-29

[3]

一种晶圆干燥系统和晶圆干燥方法 [P].

张康 ;

舒福璋 ;

崔凯 .

中国专利 :CN114136068A ,2022-03-04

[4]

一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法 [P].

徐铭 ;

李盼盼 ;

吴凌峰 ;

陈丁堃 ;

刘大威 ;

陈新来 ;

廖世保 .

中国专利 :CN117329790A ,2024-01-02

[5]

晶圆干燥方法及晶圆干燥设备 [P].

莫科伟 ;

赵伟 ;

祁志明 ;

李松松 ;

孙永胜 .

中国专利 :CN120444862A ,2025-08-08

[6]

晶圆干燥装置及晶圆干燥方法 [P].

李柠 ;

张腾 .

中国专利 :CN117704782A ,2024-03-15

[7]

晶圆干燥装置及晶圆干燥方法 [P].

陈海婷 ;

万坤 ;

刁睿 .

中国专利 :CN120176413A ,2025-06-20

[8]

一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法 [P].

江永 ;

顾华平 ;

熊伟 .

中国专利 :CN118763019B ,2025-02-28

[9]

一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法 [P].

江永 ;

顾华平 ;

熊伟 .

中国专利 :CN118763019A ,2024-10-11

[10]

一种晶圆提拉干燥方法及晶圆干燥装置 [P].

申兵兵 .

中国专利 :CN114001526B ,2022-02-01

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