用于填充间隙的方法和系统

被引：0

申请号：

CN202210176471.2

申请日：

2022-02-25

公开(公告)号：

CN115000000A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

E.费尔姆岩下信哉 C.德泽拉 J.W.梅斯 T.布兰夸特 R.H.J.沃乌尔特 V.波雷 G.A.沃尼谢琦 R-J.张 E.J.希罗

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

C23C1604 C23C16448 C23C16455

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

焦玉恒

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	公开	公开

共 50 条

[1]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

R·H·J·沃乌尔特 ;

T·布兰夸特 ;

C·德泽拉 .

:CN119601527A ,2025-03-11

[2]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

R.H.J.沃乌尔特 ;

T.布兰夸特 ;

V.波雷 ;

G.A.沃尼 ;

谢琦 ;

R-J.张 ;

E.J.希罗 .

中国专利 :CN114990518A ,2022-09-02

[3]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

T·布兰夸特 ;

R·H·J·沃乌尔特 .

:CN119522037A ,2025-02-25

[4]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

R·H·J·沃乌尔特 ;

T·布兰夸特 ;

R·博鲁德 ;

I·阿卜德拉奥伊 ;

V·波雷 ;

I·拉赫马特 .

:CN119852238A ,2025-04-18

[5]

用于填充基因组组装间隙的方法和系统 [P].

潘玮华 ;

许东 ;

杨映雪 ;

赵贤嘉 .

中国专利 :CN118230824A ,2024-06-21

[6]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

G·范德尔斯达 ;

铃木俊哉 .

:CN109643652B ,2024-03-29

[7]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 .

中国专利 :CN109478511A ,2019-03-15

[8]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

S·范阿尔德 ;

S·霍卡 ;

深泽笃毅 ;

福田秀明 .

中国专利 :CN109690744A ,2019-04-26

[9]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

优财津 ;

深泽笃毅 .

中国专利 :CN109477212A ,2019-03-15

[10]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

G·范德尔斯达 ;

铃木俊哉 .

中国专利 :CN109643652A ,2019-04-16

← 1 2 3 4 5 →