用于填充间隙的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780044429.2

申请日：

2017-07-14

公开(公告)号：

CN109478511A

公开(公告)日：

2019-03-15

发明(设计)人：

V·珀尔

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L21316

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

沙永生;乐洪咏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/316 申请日:20170714
2019-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

S·范阿尔德 ;

S·霍卡 ;

深泽笃毅 ;

福田秀明 .

中国专利 :CN109690744A ,2019-04-26

[2]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

优财津 ;

深泽笃毅 .

中国专利 :CN109477212A ,2019-03-15

[3]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

G·范德尔斯达 ;

铃木俊哉 .

:CN109643652B ,2024-03-29

[4]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

V·珀尔 ;

W·科内鹏 ;

B·琼布罗德 ;

D·皮尔勒 ;

G·范德尔斯达 ;

铃木俊哉 .

中国专利 :CN109643652A ,2019-04-16

[5]

用于填充间隙的方法和设备 [P].

R·博鲁德 ;

M·罗霍 ;

V·珀尔 ;

五十岚诚 .

:CN120249922A ,2025-07-04

[6]

用于填充间隙的设备和方法 [P].

R·博鲁德 ;

五十岚诚 ;

福田秀明 ;

V·波雷 ;

V·利马泰宁 .

:CN120072691A ,2025-05-30

[7]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

T·布兰夸特 ;

R·H·J·沃乌尔特 .

:CN119522037A ,2025-02-25

[8]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

R·H·J·沃乌尔特 ;

T·布兰夸特 ;

C·德泽拉 .

:CN119601527A ,2025-03-11

[9]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

R·H·J·沃乌尔特 ;

T·布兰夸特 ;

R·博鲁德 ;

I·阿卜德拉奥伊 ;

V·波雷 ;

I·拉赫马特 .

:CN119852238A ,2025-04-18

[10]

用于填充间隙的方法和系统 [P].

E.费尔姆 ;

岩下信哉 ;

C.德泽拉 ;

J.W.梅斯 ;

T.布兰夸特 ;

R.H.J.沃乌尔特 ;

V.波雷 ;

G.A.沃尼 ;

谢琦 ;

R-J.张 ;

E.J.希罗 .

中国专利 :CN115000000A ,2022-09-02

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