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用于填充间隙的方法和系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411429501.1
申请日：
2024-10-14
公开(公告)号：
CN119852238A
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
R·H·J·沃乌尔特 T·布兰夸特 R·博鲁德 I·阿卜德拉奥伊 V·波雷 I·拉赫马特
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01L21/762
IPC分类号：
H10D1/68 H01L21/285 H01J37/32 C23C16/32 C23C16/34 C23C16/24
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王冉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-18 公开 公开
共 50 条
[1]
用于填充间隙的方法和系统 [P]. 
R·H·J·沃乌尔特 ;
T·布兰夸特 ;
C·德泽拉 .
:CN119601527A ,2025-03-11
[2]
用于填充间隙的方法和系统 [P]. 
E.费尔姆 ;
岩下信哉 ;
C.德泽拉 ;
J.W.梅斯 ;
T.布兰夸特 ;
R.H.J.沃乌尔特 ;
V.波雷 ;
G.A.沃尼 ;
谢琦 ;
R-J.张 ;
E.J.希罗 .
中国专利 :CN115000000A ,2022-09-02
[3]
用于填充间隙的方法和系统 [P]. 
R.H.J.沃乌尔特 ;
T.布兰夸特 ;
V.波雷 ;
G.A.沃尼 ;
谢琦 ;
R-J.张 ;
E.J.希罗 .
中国专利 :CN114990518A ,2022-09-02
[4]
用于填充间隙的方法和系统 [P]. 
T·布兰夸特 ;
R·H·J·沃乌尔特 .
:CN119522037A ,2025-02-25
[5]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
V·珀尔 ;
W·科内鹏 ;
B·琼布罗德 ;
D·皮尔勒 ;
G·范德尔斯达 ;
铃木俊哉 .
:CN109643652B ,2024-03-29
[6]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
V·珀尔 .
中国专利 :CN109478511A ,2019-03-15
[7]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
V·珀尔 ;
W·科内鹏 ;
B·琼布罗德 ;
D·皮尔勒 ;
S·范阿尔德 ;
S·霍卡 ;
深泽笃毅 ;
福田秀明 .
中国专利 :CN109690744A ,2019-04-26
[8]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
优财津 ;
深泽笃毅 .
中国专利 :CN109477212A ,2019-03-15
[9]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
V·珀尔 ;
W·科内鹏 ;
B·琼布罗德 ;
D·皮尔勒 ;
G·范德尔斯达 ;
铃木俊哉 .
中国专利 :CN109643652A ,2019-04-16
[10]
用于填充间隙的方法和设备 [P]. 
R·博鲁德 ;
M·罗霍 ;
V·珀尔 ;
五十岚诚 .
:CN120249922A ,2025-07-04
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