一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710569131.5

申请日：

2017-07-13

公开(公告)号：

CN107426908A

公开(公告)日：

2017-12-01

发明(设计)人：

丁洪斌王志伟高亮冯春雷王奇

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

IPC主分类号：

H05H124

IPC分类号：

代理机构：

大连星海专利事务所有限公司 21208

代理人：

裴毓英

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H05H 1/24 申请公布日:20171201
2017-12-01	公开	公开
2017-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/24 申请日:20170713

共 50 条

[1]

一种高密度大面积等离子体片产生装置 [P].

程芝峰 ;

徐跃民 ;

孙海龙 ;

吴逢时 ;

丁亮 ;

王之江 ;

孙简 .

中国专利 :CN201336769Y ,2009-10-28

[2]

一种大面积、高密度微波等离子体产生装置 [P].

陈龙威 ;

赵颖 ;

孟月东 .

中国专利 :CN105088196A ,2015-11-25

[3]

带冷却电极的大面积均匀高密度等离子体产生系统 [P].

李小平 ;

刘东林 ;

谢楷 ;

刘彦明 ;

黎剑兵 ;

杨敏 .

中国专利 :CN102781155A ,2012-11-14

[4]

一种大面积等离子体产生装置 [P].

王红霞 ;

刘同波 .

中国专利 :CN116113131B ,2025-11-04

[5]

大面积并联高密度感应耦合等离子体源 [P].

辛煜 ;

宁兆元 .

中国专利 :CN2907173Y ,2007-05-30

[6]

大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法 [P].

谢楷 ;

李小平 ;

刘彦明 ;

杨敏 ;

赵良 ;

秦永强 ;

艾炜 ;

刘东林 .

中国专利 :CN102361531B ,2012-02-22

[7]

一种大面积大气压等离子体射流产生装置 [P].

欧阳吉庭 ;

朱平 ;

孟昭忠 ;

胡海欣 .

中国专利 :CN106714435A ,2017-05-24

[8]

一种用于产生高密度等离子体的装置 [P].

邹威 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN109518167A ,2019-03-26

[9]

一种大面积均匀产生等离子体的装置 [P].

孟月东 ;

沈洁 .

中国专利 :CN201766766U ,2011-03-16

[10]

一种产生大面积冷等离子体的装置 [P].

孔刚玉 ;

王冰川 ;

张治权 ;

刘定新 .

中国专利 :CN105246241B ,2016-01-13

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