大面积并联高密度感应耦合等离子体源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620069635.8

申请日：

2006-02-24

公开(公告)号：

CN2907173Y

公开(公告)日：

2007-05-30

发明(设计)人：

辛煜宁兆元

申请人：

申请人地址：

215006江苏省苏州市十梓街1号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01J3732 H01L2100

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

马明渡

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-05-30	授权	授权
2009-04-29	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

大面积等离子体源 [P].

韦恩·L·约翰逊 .

中国专利 :CN1334885A ,2002-02-06

[2]

组合线圈感应耦合高密度等离子体源 [P].

吴汉明 .

中国专利 :CN1089392A ,1994-07-13

[3]

一种高密度大面积等离子体片产生装置 [P].

程芝峰 ;

徐跃民 ;

孙海龙 ;

吴逢时 ;

丁亮 ;

王之江 ;

孙简 .

中国专利 :CN201336769Y ,2009-10-28

[4]

高密度阴极等离子体源 [P].

李波 ;

吴杰峰 ;

罗广南 ;

王海京 ;

韦俊 ;

宋春 .

中国专利 :CN103298233B ,2013-09-11

[5]

一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源 [P].

周海山 ;

袁小刚 ;

罗广南 ;

李波 ;

李建刚 .

中国专利 :CN109951945A ,2019-06-28

[6]

大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源 [P].

孙斌 ;

邓永锋 ;

赵杨 ;

刘世贵 ;

魏建国 ;

李光熙 .

中国专利 :CN207603978U ,2018-07-10

[7]

一种大面积、高密度微波等离子体产生装置 [P].

陈龙威 ;

赵颖 ;

孟月东 .

中国专利 :CN105088196A ,2015-11-25

[8]

具有并联螺旋RF线圈的感应耦合等离子体源 [P].

罗伟义 ;

希曼舒·乔克斯 ;

诺曼·梅特克 ;

阿比纳夫·普拉卡什 .

美国专利 :CN120530475A ,2025-08-22

[9]

高密度热阴极等离子体源 [P].

李波 ;

周海山 ;

周卫云 ;

彭元凯 ;

史磊 .

中国专利 :CN109600895B ,2019-04-09

[10]

一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法 [P].

丁洪斌 ;

王志伟 ;

高亮 ;

冯春雷 ;

王奇 .

中国专利 :CN107426908A ,2017-12-01

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