大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721783478.1

申请日：

2017-12-19

公开(公告)号：

CN207603978U

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

孙斌邓永锋赵杨刘世贵魏建国李光熙

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市航天基地飞天路289号

IPC主分类号：

H05H124

IPC分类号：

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

杨引雪

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

大面积等离子体源 [P].

韦恩·L·约翰逊 .

中国专利 :CN1334885A ,2002-02-06

[2]

大面积并联高密度感应耦合等离子体源 [P].

辛煜 ;

宁兆元 .

中国专利 :CN2907173Y ,2007-05-30

[3]

基片电极调谐型射频感性耦合等离子体源 [P].

丁振峰 .

中国专利 :CN1852632A ,2006-10-25

[4]

用于等离子体应用的大面积ICP源 [P].

Y·K·赵 ;

T·布鲁克 ;

K·贾纳吉拉曼 .

中国专利 :CN102789950A ,2012-11-21

[5]

射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽系统 [P].

丁振峰 .

中国专利 :CN1905777A ,2007-01-31

[6]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN204275958U ,2015-04-22

[7]

一种大面积微波等离子体激发装置 [P].

王邱林 ;

吉皓 .

中国专利 :CN223309994U ,2025-09-05

[8]

大面积平板常压射频冷等离子体放电装置 [P].

王守国 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN2870385Y ,2007-02-14

[9]

用于大面积等离子体加工的装置 [P].

P·吉特蒂埃尼 .

中国专利 :CN102318034B ,2012-01-11

[10]

大面积大气等离子体均匀放电电极 [P].

王波 ;

金会良 ;

姚英学 ;

李娜 ;

车琳 ;

辛强 ;

金江 ;

李铎 .

中国专利 :CN103269556A ,2013-08-28

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