基片电极调谐型射频感性耦合等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610200528.9

申请日：

2006-06-07

公开(公告)号：

CN1852632A

公开(公告)日：

2006-10-25

发明(设计)人：

丁振峰

申请人：

申请人地址：

116024辽宁大连甘井子区凌工路2号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

大连理工大学专利中心

代理人：

侯明远

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-10-25	公开	公开
2006-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽系统 [P].

丁振峰 .

中国专利 :CN1905777A ,2007-01-31

[2]

大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源 [P].

孙斌 ;

邓永锋 ;

赵杨 ;

刘世贵 ;

魏建国 ;

李光熙 .

中国专利 :CN207603978U ,2018-07-10

[3]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN204275958U ,2015-04-22

[4]

射频等离子体源 [P].

李树瑜 .

中国专利 :CN203492261U ,2014-03-19

[5]

自屏蔽电感耦合等离子体射频电极及等离子体处理设备 [P].

张朝阳 ;

李俊良 .

中国专利 :CN120282363A ,2025-07-08

[6]

射频电感耦合等离子体发生天线 [P].

徐旭 ;

李林森 ;

刘峰 ;

梁荣庆 .

中国专利 :CN201114977Y ,2008-09-10

[7]

射频感性耦合等离子体叠加宽频带通频率选择表面结构 [P].

魏小龙 ;

徐浩军 ;

韩欣珉 ;

武欣 ;

林茂 .

中国专利 :CN112421239A ,2021-02-26

[8]

宽离子束用的具多天线电感性耦合等离子体离子源 [P].

科斯特尔·拜洛 ;

约瑟·C·欧尔森 ;

艾德沃·W·比尔 ;

玛尼·斯尔达斯奇 .

中国专利 :CN104885186A ,2015-09-02

[9]

一种磁约束射频感应耦合等离子体源 [P].

聂军伟 ;

陈庆川 ;

黄琪 ;

郑才国 .

中国专利 :CN114051307A ,2022-02-15

[10]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器及其使用方法 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN104368288A ,2015-02-25

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