射频感性耦合等离子体叠加宽频带通频率选择表面结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011270634.0

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN112421239A

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

魏小龙徐浩军韩欣珉武欣林茂

申请人：

申请人地址：

710038 陕西省西安市灞桥区霸陵路一号

IPC主分类号：

H01Q1500

IPC分类号：

代理机构：

西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237

代理人：

麦春明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-26	公开	公开
2022-02-01	授权	授权
2021-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01Q 15/00 申请日:20201113

共 50 条

[1]

一种射频感性耦合等离子体叠加相位梯度超表面吸波结构 [P].

徐浩军 ;

魏小龙 ;

韩欣珉 ;

武欣 ;

常怡鹏 .

中国专利 :CN111638569B ,2020-09-08

[2]

基片电极调谐型射频感性耦合等离子体源 [P].

丁振峰 .

中国专利 :CN1852632A ,2006-10-25

[3]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN204275958U ,2015-04-22

[4]

射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽系统 [P].

丁振峰 .

中国专利 :CN1905777A ,2007-01-31

[5]

大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源 [P].

孙斌 ;

邓永锋 ;

赵杨 ;

刘世贵 ;

魏建国 ;

李光熙 .

中国专利 :CN207603978U ,2018-07-10

[6]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器及其使用方法 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN104368288A ,2015-02-25

[7]

三通带宽频带频率选择表面结构及天线罩 [P].

罗慧 ;

吴微微 ;

袁乃昌 ;

黄敬健 ;

吴敏杰 ;

周扬 ;

潘玉剑 ;

王青平 ;

卢洪树 .

中国专利 :CN104617361A ,2015-05-13

[8]

射频电感耦合等离子体发生天线 [P].

徐旭 ;

李林森 ;

刘峰 ;

梁荣庆 .

中国专利 :CN201114977Y ,2008-09-10

[9]

自屏蔽电感耦合等离子体射频电极及等离子体处理设备 [P].

张朝阳 ;

李俊良 .

中国专利 :CN120282363A ,2025-07-08

[10]

射频电感耦合等离子体灭菌器 [P].

王龙哲 .

中国专利 :CN101797394A ,2010-08-11

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