一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910192042.2

申请日：

2019-03-14

公开(公告)号：

CN109951945A

公开(公告)日：

2019-06-28

发明(设计)人：

周海山袁小刚罗广南李波李建刚

申请人：

申请人地址：

230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号

IPC主分类号：

H05H148

IPC分类号：

代理机构：

安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112

代理人：

宋仔娟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H05H 1/48 申请公布日:20190628
2019-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/48 申请日:20190314
2019-06-28	公开	公开

共 50 条

[1]

大面积并联高密度感应耦合等离子体源 [P].

辛煜 ;

宁兆元 .

中国专利 :CN2907173Y ,2007-05-30

[2]

大面积等离子体源 [P].

韦恩·L·约翰逊 .

中国专利 :CN1334885A ,2002-02-06

[3]

一种多通道大面积高密度直流电弧等离子体源 [P].

丁洪斌 ;

石劼霖 ;

李裕 ;

王勇 ;

李聪 ;

冯春雷 .

中国专利 :CN113382525A ,2021-09-10

[4]

用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的放电腔室 [P].

芶富均 .

中国专利 :CN202697017U ,2013-01-23

[5]

高密度阴极等离子体源 [P].

李波 ;

吴杰峰 ;

罗广南 ;

王海京 ;

韦俊 ;

宋春 .

中国专利 :CN103298233B ,2013-09-11

[6]

一种高密度大面积等离子体片产生装置 [P].

程芝峰 ;

徐跃民 ;

孙海龙 ;

吴逢时 ;

丁亮 ;

王之江 ;

孙简 .

中国专利 :CN201336769Y ,2009-10-28

[7]

一种大面积、高密度微波等离子体产生装置 [P].

陈龙威 ;

赵颖 ;

孟月东 .

中国专利 :CN105088196A ,2015-11-25

[8]

一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板 [P].

陈波 .

中国专利 :CN202465873U ,2012-10-03

[9]

一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板 [P].

芶富均 .

中国专利 :CN204335131U ,2015-05-13

[10]

高密度热阴极等离子体源 [P].

李波 ;

周海山 ;

周卫云 ;

彭元凯 ;

史磊 .

中国专利 :CN109600895B ,2019-04-09

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