晶圆处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821876296.3

申请日：

2018-11-13

公开(公告)号：

CN208923045U

公开(公告)日：

2019-05-31

发明(设计)人：

刘曦光

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆处理设备以及晶圆处理方法 [P].

刘曦光 .

中国专利 :CN111180354A ,2020-05-19

[2]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN210837676U ,2020-06-23

[3]

晶圆处理设备 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN210160054U ,2020-03-20

[4]

晶圆处理设备 [P].

朱进 ;

阚保国 ;

麦永业 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848867U ,2019-05-10

[5]

晶圆处理设备 [P].

何金正 ;

陈佳伟 .

中国专利 :CN117558608A ,2024-02-13

[6]

晶圆处理设备 [P].

朱成云 ;

李明欣 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848863U ,2019-05-10

[7]

晶圆处理设备及晶圆处理系统 [P].

田建辉 ;

岳超俊 .

中国专利 :CN223273227U ,2025-08-26

[8]

晶圆容纳装置和晶圆处理设备 [P].

何正鸿 ;

宋杰 ;

蒋瑞董 .

中国专利 :CN223162540U ,2025-07-29

[9]

晶圆机械臂及晶圆处理设备 [P].

何正鸿 ;

陶毅 ;

田旭 ;

陈泽 .

中国专利 :CN223167459U ,2025-07-29

[10]

微型晶圆处理设备 [P].

王义正 .

中国专利 :CN205122547U ,2016-03-30

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