晶圆处理设备及晶圆处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922115866.8

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN210837676U

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

杨抗

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-23	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN112885734A ,2021-06-01

[2]

晶圆处理腔、晶圆处理装置和晶圆处理设备 [P].

王晖 ;

顾建国 ;

田连刚 ;

朱志君 ;

金京俊 ;

陈国强 ;

贺斌 .

中国专利 :CN120727549A ,2025-09-30

[3]

晶圆处理装置和晶圆处理设备 [P].

朱焜 ;

王洪福 ;

沈小惠 ;

李洵 ;

任德营 .

中国专利 :CN121054518A ,2025-12-02

[4]

晶圆处理设备及晶圆处理系统 [P].

田建辉 ;

岳超俊 .

中国专利 :CN223273227U ,2025-08-26

[5]

晶圆处理方法及晶圆处理设备 [P].

张武鑫 ;

叶振鹏 ;

李朋 ;

周鹏 ;

郝斌荣 .

中国专利 :CN121096937A ,2025-12-09

[6]

晶圆处理设备及晶圆处理方法 [P].

李江风 ;

王力 ;

龙俊舟 .

中国专利 :CN115274496B ,2024-11-15

[7]

晶圆处理装置和多腔室晶圆处理设备 [P].

王大为 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208753276U ,2019-04-16

[8]

晶圆机械臂及晶圆处理设备 [P].

何正鸿 ;

陶毅 ;

田旭 ;

陈泽 .

中国专利 :CN223167459U ,2025-07-29

[9]

晶圆容纳装置和晶圆处理设备 [P].

何正鸿 ;

宋杰 ;

蒋瑞董 .

中国专利 :CN223162540U ,2025-07-29

[10]

晶圆处理设备 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN210160054U ,2020-03-20

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