晶圆容纳装置和晶圆处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422056978.1

申请日：

2024-08-23

公开(公告)号：

CN223162540U

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

何正鸿宋杰蒋瑞董

申请人：

甬矽电子（宁波）股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号

IPC主分类号：

B65G29/00

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/67

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

折湘

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆处理腔、晶圆处理装置和晶圆处理设备 [P].

王晖 ;

顾建国 ;

田连刚 ;

朱志君 ;

金京俊 ;

陈国强 ;

贺斌 .

中国专利 :CN120727549A ,2025-09-30

[2]

晶圆处理装置和晶圆处理设备 [P].

朱焜 ;

王洪福 ;

沈小惠 ;

李洵 ;

任德营 .

中国专利 :CN121054518A ,2025-12-02

[3]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN210837676U ,2020-06-23

[4]

晶圆刻蚀装置和晶圆处理设备 [P].

王建东 ;

徐融 ;

任德营 ;

苏界 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN213093176U ,2021-04-30

[5]

晶圆清洗装置和晶圆处理设备 [P].

曹自立 ;

王科 ;

周静 ;

李灯 ;

李长坤 .

中国专利 :CN119812046A ,2025-04-11

[6]

晶圆处理装置和多腔室晶圆处理设备 [P].

王大为 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208753276U ,2019-04-16

[7]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN112885734A ,2021-06-01

[8]

晶圆处理设备 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN210160054U ,2020-03-20

[9]

晶圆处理设备 [P].

朱进 ;

阚保国 ;

麦永业 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848867U ,2019-05-10

[10]

晶圆处理设备 [P].

刘曦光 .

中国专利 :CN208923045U ,2019-05-31

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