薄膜晶体管的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610107833.3

申请日：

2006-07-24

公开(公告)号：

CN1905139A

公开(公告)日：

2007-01-31

发明(设计)人：

丰田直之

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-07-01	授权	授权
2015-09-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止申请日:20060724 授权公告日:20090701 终止日期:20140724 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101625754897 IPC(主分类):H01L 21/336 专利号:ZL2006101078333
2007-01-31	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜晶体管阵列基板及其形成方法 [P].

钟德镇 ;

廖家德 .

中国专利 :CN101599497B ,2009-12-09

[2]

薄膜晶体管形成方法以及薄膜晶体管 [P].

郝付泼 ;

谢凡 ;

胡君文 ;

何基强 .

中国专利 :CN102176413A ,2011-09-07

[3]

形成薄膜晶体管阵列面板的方法及薄膜晶体管阵列面板 [P].

石靖节 ;

李永祥 ;

许宗义 ;

甘丰源 .

中国专利 :CN101339923B ,2009-01-07

[4]

薄膜晶体管及薄膜晶体管的制备方法 [P].

石龙强 ;

曾志远 ;

李文辉 ;

苏智昱 ;

吕晓文 .

中国专利 :CN104576756B ,2015-04-29

[5]

薄膜晶体管及薄膜晶体管的制备方法 [P].

石龙强 ;

曾志远 ;

李文辉 ;

苏智昱 ;

吕晓文 .

中国专利 :CN104576754B ,2015-04-29

[6]

薄膜晶体管与其形成方法 [P].

林信宏 ;

张荣芳 ;

高克毅 .

中国专利 :CN102468340A ,2012-05-23

[7]

薄膜晶体管与其形成方法 [P].

林信宏 ;

张荣芳 ;

高克毅 .

中国专利 :CN104409360A ,2015-03-11

[8]

薄膜晶体管 [P].

宫入秀和 .

中国专利 :CN101847662B ,2010-09-29

[9]

薄膜晶体管 [P].

张源 .

中国专利 :CN109935627A ,2019-06-25

[10]

薄膜晶体管 [P].

石龙强 ;

曾志远 ;

张合静 ;

胡宇彤 .

中国专利 :CN104465785B ,2015-03-25

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