薄膜晶体管与其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410742453.1

申请日：

2011-01-28

公开(公告)号：

CN104409360A

公开(公告)日：

2015-03-11

发明(设计)人：

林信宏张荣芳高克毅

申请人：

申请人地址：

中国台湾350新竹科学工业园区苗栗县竹南镇科学路160号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L29786

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

骆希聪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101604811901 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2014107424531 申请日:20110128
2018-06-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20150311
2015-03-11	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜晶体管与其形成方法 [P].

林信宏 ;

张荣芳 ;

高克毅 .

中国专利 :CN102468340A ,2012-05-23

[2]

薄膜晶体管形成方法以及薄膜晶体管 [P].

郝付泼 ;

谢凡 ;

胡君文 ;

何基强 .

中国专利 :CN102176413A ,2011-09-07

[3]

薄膜晶体管的形成方法 [P].

丰田直之 .

中国专利 :CN1905139A ,2007-01-31

[4]

薄膜晶体管、薄膜晶体管基板及其制造方法 [P].

李殷国 ;

金度贤 ;

郑敞午 ;

李制勋 ;

林淳权 .

中国专利 :CN101226901A ,2008-07-23

[5]

包括成分调制的有源区的薄膜晶体管与其形成方法 [P].

蔡武卫 ;

陈海清 ;

杨世海 ;

林佑明 .

中国专利 :CN114823867A ,2022-07-29

[6]

薄膜晶体管以及制造薄膜晶体管的方法 [P].

德永和彦 .

中国专利 :CN101710592A ,2010-05-19

[7]

薄膜晶体管的制造方法以及薄膜晶体管 [P].

滩秀明 ;

面了明 ;

滋野博誉 ;

坂田喜博 ;

奥村秀三 .

中国专利 :CN107408509A ,2017-11-28

[8]

薄膜晶体管的制造方法和薄膜晶体管 [P].

伊东一笃 ;

锦博彦 .

中国专利 :CN109755136A ,2019-05-14

[9]

薄膜晶体管 [P].

佐藤荣一 ;

青山俊之 .

中国专利 :CN103503125A ,2014-01-08

[10]

薄膜晶体管 [P].

佐藤荣一 ;

青山俊之 .

中国专利 :CN103493187A ,2014-01-01

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