保护浅沟槽隔离区的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310253617.X

申请日：

2013-06-24

公开(公告)号：

CN103337473A

公开(公告)日：

2013-10-02

发明(设计)人：

沈萍马旭曹亚民

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

竺路玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	授权	授权
2013-10-02	公开	公开
2013-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101535525661 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201310253617X 申请日:20130624

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

任红茹 .

中国专利 :CN102097355B ,2011-06-15

[2]

形成浅沟槽隔离结构的方法及浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

张世谋 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101673701A ,2010-03-17

[3]

浅沟槽隔离区、浅沟槽隔离区掩膜版及浅沟槽隔离区制造方法 [P].

孟兆祥 ;

李庆刚 ;

刘庆炜 .

中国专利 :CN101246884A ,2008-08-20

[4]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

夏雁宾 ;

杨玲 ;

张飞 .

中国专利 :CN103681448A ,2014-03-26

[5]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103579076B ,2014-02-12

[6]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

张飞 ;

杨玲 ;

夏雁宾 .

中国专利 :CN103681449A ,2014-03-26

[7]

减小浅沟槽隔离区凹槽的方法 [P].

储佳 .

中国专利 :CN1825559A ,2006-08-30

[8]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

唐兆云 .

中国专利 :CN101969039A ,2011-02-09

[9]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102024740A ,2011-04-20

[10]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

秦宏志 ;

赵星 ;

高剑鸣 ;

赵金柱 .

中国专利 :CN102024739A ,2011-04-20

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