形成浅沟槽隔离区的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210338682.8

申请日：

2012-09-13

公开(公告)号：

CN103681449A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

张飞杨玲夏雁宾

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	公开	公开
2017-06-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754628553 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2012103386828 申请公布日:20140326
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581683408 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2012103386828 申请日:20120913

共 50 条

[1]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

夏雁宾 ;

杨玲 ;

张飞 .

中国专利 :CN103681448A ,2014-03-26

[2]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103579076B ,2014-02-12

[3]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

唐兆云 .

中国专利 :CN101969039A ,2011-02-09

[4]

浅沟槽隔离区的形成方法 [P].

邵群 .

中国专利 :CN103187353A ,2013-07-03

[5]

形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

元琳 ;

尹晶磊 .

中国专利 :CN102054733A ,2011-05-11

[6]

形成浅沟槽隔离结构的方法及浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

张世谋 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101673701A ,2010-03-17

[7]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

秦宏志 ;

赵星 ;

高剑鸣 ;

赵金柱 .

中国专利 :CN102024739A ,2011-04-20

[8]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[9]

浅沟槽隔离区、浅沟槽隔离区掩膜版及浅沟槽隔离区制造方法 [P].

孟兆祥 ;

李庆刚 ;

刘庆炜 .

中国专利 :CN101246884A ,2008-08-20

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

杨贵璞 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105304549A ,2016-02-03

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