非接触式扫描抛光片表面粗糙度的检测设备和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410660605.3

申请日：

2014-11-18

公开(公告)号：

CN104332426A

公开(公告)日：

2015-02-04

发明(设计)人：

吕莹崔宝柱罗翀张俊生孙晨光

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号内

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

杨慧玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-04	公开	公开
2020-11-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20150204
2017-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20141118

共 50 条

[1]

一种改善硅抛光片表面粗糙度的抛光方法 [P].

路一辰 ;

李俊峰 ;

潘紫龙 ;

王玥 ;

王新 .

中国专利 :CN112975578B ,2021-06-18

[2]

一种工件表面粗糙度非接触式的检测方法 [P].

陈苏婷 ;

张勇 .

中国专利 :CN103759676A ,2014-04-30

[3]

一种表面粗糙度检测方法和设备 [P].

刘坚 ;

易怀安 ;

路恩会 ;

王梦徽 ;

敖鹏 .

中国专利 :CN104848808A ,2015-08-19

[4]

一种降低硅抛光片表面粗糙度的加工方法 [P].

史训达 .

中国专利 :CN108242396B ,2018-07-03

[5]

晶圆表面粗糙度检测方法 [P].

刘玮荪 ;

杨建军 ;

周侃 ;

孔令芬 .

中国专利 :CN101650170A ,2010-02-17

[6]

曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置 [P].

刘建新 ;

谭平 .

中国专利 :CN202432999U ,2012-09-12

[7]

表面粗糙度检测装置 [P].

李粉兰 ;

段海峰 ;

郝建国 ;

许祖茂 ;

李俊国 .

中国专利 :CN101363725B ,2009-02-11

[8]

表面粗糙度检测装置 [P].

李粉兰 ;

段海峰 ;

郝建国 ;

许祖茂 ;

李俊国 .

中国专利 :CN201322610Y ,2009-10-07

[9]

表面粗糙度非接触测量系统 [P].

朱青 ;

徐文东 ;

高秀敏 ;

张锋 ;

杨金涛 ;

戴珂 .

中国专利 :CN1731080A ,2006-02-08

[10]

表面粗糙度非接触测量装置 [P].

朱青 ;

徐文东 ;

高秀敏 ;

张锋 ;

杨金涛 ;

戴珂 .

中国专利 :CN2814333Y ,2006-09-06

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