铜互连结构的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110718142.1

申请日：

2021-06-28

公开(公告)号：

CN113506722A

公开(公告)日：

2021-10-15

发明(设计)人：

罗朝以许力恒夏汇哲李松

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	公开	公开
2021-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20210628

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218A ,2022-09-09

[3]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218B ,2024-11-26

[4]

铜互连结构的制备方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN106340488A ,2017-01-18

[5]

铜铝线互连结构的互连孔制作方法 [P].

卢光远 ;

陈瑜 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN111653519A ,2020-09-11

[6]

一种采用新型合金籽晶层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

孙清清 ;

徐赛生 ;

王鹏飞 ;

丁士进 .

中国专利 :CN102832198A ,2012-12-19

[7]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

钟旻 .

中国专利 :CN105355620A ,2016-02-24

[8]

一种采用新型扩散阻挡层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢立恒 ;

孙清清 ;

王鹏飞 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN102693958A ,2012-09-26

[9]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[10]

铜互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105448809A ,2016-03-30

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