一种采用新型合金籽晶层的铜互连结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210360376.4

申请日：

2012-09-25

公开(公告)号：

CN102832198A

公开(公告)日：

2012-12-19

发明(设计)人：

卢红亮张卫孙清清徐赛生王鹏飞丁士进

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731741231 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2012103603764 申请公布日:20121219
2012-12-19	公开	公开
2013-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101532738783 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2012103603764 申请日:20120925

共 50 条

[1]

一种采用新型扩散阻挡层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢立恒 ;

孙清清 ;

王鹏飞 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN102693958A ,2012-09-26

[2]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[3]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

谢立恒 ;

丁士进 ;

王鹏飞 .

中国专利 :CN102903699A ,2013-01-30

[4]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

朱尚斌 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN103325769A ,2013-09-25

[5]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

朱尚斌 ;

张卫 .

中国专利 :CN103681478A ,2014-03-26

[6]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

钟旻 .

中国专利 :CN105355620A ,2016-02-24

[7]

引入了金属籽晶层的铜互连结构 [P].

D·C·埃德尔斯坦 ;

J·M·E·哈珀 ;

A·H·西蒙 ;

C·E·乌祖赫 ;

胡朝坤 .

中国专利 :CN1150619C ,1999-11-03

[8]

一种铜互连结构的制造方法 [P].

艾璞 ;

李秋茂 ;

林昭宏 .

中国专利 :CN120300069A ,2025-07-11

[9]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

孙祥烈 ;

许静 ;

罗军 ;

赵超 .

中国专利 :CN113380763A ,2021-09-10

[10]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218A ,2022-09-09

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