引入了金属籽晶层的铜互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99105191.2

申请日：

1999-04-26

公开(公告)号：

CN1150619C

公开(公告)日：

1999-11-03

发明(设计)人：

D·C·埃德尔斯坦 J·M·E·哈珀 A·H·西蒙 C·E·乌祖赫胡朝坤

申请人：

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

H01L2352

IPC分类号：

H01L21768 H01L213205 H01L2128

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

邹光新;陈景峻

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-05-19	授权	授权
1999-09-22	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2017-11-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/52 登记生效日:20171103 变更事项:专利权人变更前权利人:国际商业机器公司变更后权利人:格芯美国第二有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国纽约州变更后权利人:美国纽约
1999-11-03	公开	公开
2017-11-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 23/52 登记生效日:20171103 变更事项:专利权人变更前权利人:格芯美国第二有限责任公司变更后权利人:格芯公司变更事项:地址变更前权利人:美国纽约变更后权利人:开曼群岛大开曼岛
2019-05-24	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 23/52 申请日:19990426 授权公告日:20040519

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102214600A ,2011-10-12

[3]

一种采用新型合金籽晶层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

孙清清 ;

徐赛生 ;

王鹏飞 ;

丁士进 .

中国专利 :CN102832198A ,2012-12-19

[4]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103247601B ,2013-08-14

[5]

铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119673891A ,2025-03-21

[6]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218A ,2022-09-09

[7]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218B ,2024-11-26

[8]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[9]

铜互连结构的制造方法 [P].

薛兴坤 ;

李新磊 ;

王鹏飞 ;

韩岩岩 ;

于卫国 .

中国专利 :CN114783946A ,2022-07-22

[10]

铜互连结构的制备方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN106340488A ,2017-01-18

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