铜互连结构的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611089586.9

申请日：

2016-11-30

公开(公告)号：

CN106340488A

公开(公告)日：

2017-01-18

发明(设计)人：

鲍宇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101703564236 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2016110895869 申请日:20161130
2019-11-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20170118
2017-01-18	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218A ,2022-09-09

[3]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218B ,2024-11-26

[4]

一种铜互连结构的制作方法、铜互连结构及电子装置 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN106505031B ,2017-03-15

[5]

铜互连结构及其形成方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN102487038A ,2012-06-06

[6]

铜互连结构及其形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN102956546A ,2013-03-06

[7]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[8]

铜互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105448809A ,2016-03-30

[9]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[10]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

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