一种混合集成电路金属化互联方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210576182.8
申请日
2012-12-27
公开(公告)号
CN103021891B
公开(公告)日
2013-04-03
发明(设计)人
王斌 路波 李红伟 莫秀英 孙建华 樊明国
申请人
申请人地址
266000 山东省青岛市经济技术开发区香江路98号
IPC主分类号
H01L2160
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
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[8]
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[10]
混合集成电路结构 [P]. 
F·G·赫罗 ;
D·布朗 ;
哈桑·谢里菲 ;
J·C·王 ;
D·C·里根 ;
唐艳 ;
H·冯 .
中国专利 :CN111480230A ,2020-07-31