集成电路制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910894266.8

申请日：

2019-09-20

公开(公告)号：

CN110957266A

公开(公告)日：

2020-04-03

发明(设计)人：

李凯璿赖柏宇杨世海杨丰诚林益安陈燕铭

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

王宇航;黄艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20190920
2020-04-03	公开	公开

共 50 条

[1]

集成电路及集成电路制造方法 [P].

耶罗恩·范登博门 .

中国专利 :CN102105986A ,2011-06-22

[2]

集成电路制造方法 [P].

沈华 .

中国专利 :CN1202004A ,1998-12-16

[3]

集成电路制造方法 [P].

林宜弘 ;

陆埼达 .

中国专利 :CN112859508B ,2024-11-01

[4]

集成电路制造方法 [P].

陈志良 ;

庄正吉 ;

赖志明 ;

吴佳典 ;

杨超源 ;

杨惠婷 ;

曾健庭 ;

萧锦涛 ;

刘如淦 ;

陈顺利 ;

彭士玮 ;

林天禄 .

中国专利 :CN107305862A ,2017-10-31

[5]

集成电路制造方法 [P].

长谷川升雄 ;

冈田让二 ;

田中稔彦 ;

森和孝 ;

宫崎浩 .

中国专利 :CN100334687C ,2003-09-03

[6]

集成电路制造方法 [P].

彼得·L·特里蒙特 ;

亚瑟·J·阿克曼 .

中国专利 :CN1006506B ,1988-05-04

[7]

集成电路制造方法 [P].

林宜弘 ;

陆埼达 .

中国专利 :CN112859508A ,2021-05-28

[8]

集成电路制造方法 [P].

张森 .

中国专利 :CN105633018A ,2016-06-01

[9]

集成电路制造方法 [P].

江嘉评 ;

张雅婷 ;

郑文立 ;

郑年富 ;

池明辉 ;

黄文俊 ;

刘如淦 ;

高蔡胜 .

中国专利 :CN107342262A ,2017-11-10

[10]

集成电路制造方法 [P].

王建惟 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110828303A ,2020-02-21

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