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一种半导体清洗设备用烘干装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111259159.1
申请日：
2021-10-28
公开(公告)号：
CN113701464A
公开(公告)日：
2021-11-26
发明(设计)人：
徐竹起
申请人：
申请人地址：
226500 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号
IPC主分类号：
F26B906
IPC分类号：
F26B2100
F26B2500
代理机构：
南通云创慧泉专利代理事务所(普通合伙) 32585
代理人：
邵永永
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):F26B 9/06 申请日:20211028 |
| 2022-02-08 | 授权 | 授权 |